机译:脉冲双频感应耦合等离子体中的瞬态等离子体电势和衬底偏置的影响
机译:在射频脉冲偏置电感耦合等离子体中使用CO / NH_3气体混合物选择性刻蚀磁性隧道结材料。
机译:大面积脉冲双频感应耦合放电中等离子体电势的时间演化
机译:带有和不带有衬底偏置的脉冲感应耦合等离子体的二维建模
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:磁控溅射与电感耦合等离子体辅助磁控溅射对纸基板上Cu膜性能的影响。电感耦合等离子体辅助
机译:在托卡马克功率电抗器的欧姆加热电路中产生等离子体起爆脉冲的方法:电阻耗散,瞬态感应存储和瞬态电容存储